半导体设备隔振台架 电控空簧型减振解决方案 半导体测试系统减震防震台

半导体设备隔振台架

产品描述：

优良的不锈钢工作台面和高刚度支撑钢架桌腿之间装有ADS主动控制膜片式空簧，可抵消受到微小振动的影响。简化的设计使其可以成为工作站环境的一部分，*后续调整。

ADS-ICD 结构

基于膜片的空簧，外壳、支撑板和底板由铝制成。

ICD空簧系统构成

· 4 个空簧

-3个带传感器和控制阀的ADS主控空簧

-1 个无传感器和阀门的ADS被控空簧

· 1 个控制单元，3 通道电路板带有 USB 接口

· 主控弹簧的通信电缆

· 压力调节阀（NW 4 模块）

· 电源适配器

选 项

· 控制单元：塑料外壳中的电路板

· 控制电缆的连接器

· 过滤器 - 调节器组件由压力调节器、压力表、过滤器、水分离器组成

· 控制电缆：3 根控制电缆的长度符合客户需求

· Air Level Control 软件

· USB 线缆

· 根据空簧的数量，增加软管和连接器

系统功能

空簧具有出厂默认配置。同时，通过控制软件可以变以下参数：复位精度、允许的变形量、响应时间、平均高度。这些参数可以被查看，调整，并*地存储在每个弹簧中。即使在断电后，这些值也会保留。可以通过控制软件恢复默认配置。

控制单元

调节参数

· 复位精度：

-粗略 (± 0.5 mm）

-精准 (± 0.1 mm)

-用户定义 (± 0.01 - 1 mm)

· 允许偏差（变形量）

-宽 (± 1.0 mm)

-窄 (± 0.5 mm)

-用户定义 (± 0.01 - 1.5 mm)

· 响应时间

-快 (10 ms)

-慢 (125 ms)

-用户定义 (5 - 125 ms)

· 工作高度

-中间位置 (± 5 mm),

-电位计调整

-控制软件调整

ADS主动控制膜片式空簧选型参数：

单位：mm

注：根据用户需求可定制，有一系列定制选项可供选择。

应用范围：

高精度工具对振动敏感，需要振动隔离才能获得好的性能。

关于THERMOTEST：

拥有一支优秀的定制设计团队，能够满足您的各种定制需求。这支团队在过去的10多年里接触过各种类型的材料、形状、结构和孔型等，并为世界各地的研究、航空航天、半导体和医疗相关领域的客户提供过产品服务。我们致力于提供准确且及时的报价响应、专业的定制设计审核和修改意见、周转时间短和质量高的产品。有关详细信息，请联系THERMOTEST在线客服。